擴(kuò)散硅壓力變送器的可靠性高,擴(kuò)散硅敏感膜片的彈性形變量在微應(yīng)變數(shù)量級(jí),膜片最大位移量在來(lái)微米數(shù)量級(jí),且無(wú)機(jī)械磨損,無(wú)疲勞,無(wú)老化.擴(kuò)散硅壓力變送器的精度高,擴(kuò)散硅壓力傳感器的感受\敏感轉(zhuǎn)換和檢測(cè)三位一體,無(wú)機(jī)械動(dòng)件連接轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié),所以不重復(fù)性和遲滯誤差很小.由于硅材料的剛性好萊塢,形變小,因而傳感器的線性也非常好.因此它的精度很高.擴(kuò)散硅壓力變送器
的靈敏度高,擴(kuò)散硅敏感電阻的靈敏因子比金屬應(yīng)變片高50~80倍,它的滿量程信號(hào)輸出在80-100mv左右.對(duì)接囗電路適配性好,應(yīng)用成本相應(yīng)較低.由于它輸入激勵(lì)電壓低,輸出信號(hào)大,且無(wú)機(jī)械動(dòng)件損耗,因而分辯率極高.擴(kuò)散硅壓力變送器的頻響高, 由于敏感膜片硅材料的本身固有頻率高,一般在50KC.制造過(guò)程采用了集成工藝,膜片的有效面積可以很小,配以剛性結(jié)構(gòu)前置安裝特殊設(shè)計(jì),使傳感器頻率響應(yīng)很高,使用帶寬可達(dá)零頻至100千赫茲.
用戶在選用擴(kuò)散硅壓力變送器時(shí),可根據(jù)自己所測(cè)壓力的性質(zhì),首先應(yīng)確定選擇表壓\差壓\絕對(duì)壓力或負(fù)壓品種.如果測(cè)量液位,還要確定液位上方是自由大氣壓還是密封容器壓力.一般選擇使工作壓力值在標(biāo)準(zhǔn)量程值的60%-80%為宜,整個(gè)測(cè)
量系統(tǒng)中可能出現(xiàn)的異常情況所導(dǎo)致的過(guò)載壓力不得超過(guò)產(chǎn)品允許的最大過(guò)載.測(cè)量動(dòng)態(tài)管路液體壓力時(shí),還應(yīng)考慮水垂效應(yīng),
擴(kuò)散硅壓力變送器在使用時(shí),要注意用活塞壓力計(jì)標(biāo)定時(shí),活塞故障卡死未發(fā)現(xiàn),導(dǎo)致壓力沖開(kāi)時(shí)高過(guò)載沖擊敏感膜.擴(kuò)散硅傳感器零位輸出不能直接采用單臂聯(lián)電阻法進(jìn)行消除,可采用軟件歸零法\差動(dòng)輸入修整法\T型電阻網(wǎng)絡(luò)修正等.
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