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當前,國產(chǎn)MOCVD設備陸續(xù)進入市場。和進口MOCVD設備相比,國產(chǎn)設備有著自己的優(yōu)勢。除了價格過高之外,進口設備存在諸多方面的問題。首先,設備商不提供工藝技術(shù)方面的服務,設備產(chǎn)能好壞是使用者的事;其次,服務不到位,而且成本過高,使用者僅承擔來自歐美技術(shù)服務人員的差旅費用就動輒數(shù)萬元;最后,零部件費用極其昂貴,也讓使用者無法承擔。
反觀國產(chǎn)MOCVD設備提供商,除了價格方面的優(yōu)勢外,一方面能夠提供固化在設備中的工藝技術(shù),有的甚至已高達120流明/瓦,成為缺少工藝技術(shù)公司的福音;另一方面及時的全方位服務和零部件供應也會贏得客戶的青睞。
LED產(chǎn)業(yè)的發(fā)展離不開政府的正確引導和扶持。部分地方政府曾對進口MOCVD設備給予高達1000萬元/臺的補貼,這也一度被詬病為導致如今LED芯片產(chǎn)能過剩、價格大跌的原因之一。當前,在停止對進口設備進行補貼的同時,業(yè)內(nèi)希望有關(guān)部門能盡快出臺政策推動國內(nèi)設備和外延芯片廠商緊密合作,鼓勵雙方進行聯(lián)合開發(fā)、設備試用等。另外,目前國產(chǎn)MOCVD設備仍有少量關(guān)鍵零部件和材料依賴進口,也可考慮降低相關(guān)稅率。
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